Neubau eines Produktionsreinraumes
SUSS MicroOptics SA
Die Aufgabe bestand in der Errichtung eines Reinraumes innerhalb einer Fabrikationshalle, in der sich verschiedene Firmen befinden. Im EG befindet sich der Produktionsbereich für mikrooptische Bauteile. Im Reinraumbereich "Litho" wurden Nassbänke für den Herstellungsprozess aufgestellt. Im UG wurde eine Technikzentrale errichtet.
Herausragende Merkmale
Die Regelung der Lüftungsanlage sowie die Steuerung der FFUs erfolgt über das ROM eigene MSR System.
Beschreibung
Durch Reinraumwände und -decken wird der Reinraumbereich von der Umgebung abgegrenzt. Imtech übernahm hier die Planung sowie die Bauüberwachung. Die Außenluft wird über ein Zuluftgerät aufbereitet und konditioniert. Abluft wird zu 100 % über eine Prozessfortluftanlage realisiert. Über ein hocheffizientes Kreislaufverbund-WRG-System wird eine Rückwärmzahl von bis zu 75 % erreicht. In den Räumen selbst sorgen Filter-Fan-Units für die notwendige Luftumwälzung und Reinigung der Luft. Die Bereiche der Klasse ISO 5 wurden auf einem Doppelboden installiert. Der Zugang erfolgt hier über eine Imtech Rotationsschleuse ROMTEC CRA. Zur Erzeugung des Kaltwassers wurde eine Kältemaschine mit separatem Rückkühler neben dem Gebäude aufgestellt.
Die Medienversorgung besteht aus einer DI-Wassererzeugungsanlage, einer Abwasserneutralisationsanlage sowie einer Vakuumanlage. Die ebenfalls errichtete Stickstoffversorgung wurde an einen bauseitigen Stickstofftank angeschlossen.
Dienstleistungen ROM Technik
Technische Daten
Zuluftvolumenstrom 20.000 m³/h
Umluftvolumenstrom 20.000 m³/h
Kühlleistung 550 kW
FFU Fabrikat ROM 103 St.
Reinraumschleuse Fabrikat ROMTEC CRA
Beginn: 2012
Fertigstellung: 2013
Objektdaten
Reinraumfläche 500 m²
Reinheitsklassen 5 - 7 nach DIN EN ISO 14644
SUSS MicroOptics SA
Rouges-Terres 61
CH-2068 Hauterive
Standort:
Neuchatel (CH)