Erweiterung einer Wafer-Fab in Reutlingen

Neubau eines Produktionsgebäudes zur Herstellung von Mikrochips (8“-Wafer/200mm-Siliziumscheiben) als Erweiterung einer bestehenden Wafer-Fab einschließlich zugehörigem Ver- und Entsorgungsgebäude. Die Produktionskapazität beträgt bis zu 1.000 Wafer pro Tag (1 Mio. Chips). Der Reinraum befindet sich im Produktionsgebäude Ebene 3. Er wird lüftungsseitig von den darüber liegenden Ebenen und medienseitig von den Ebenen 1 und 2 versorgt. Der gesamte Reinraum wurde vom Kerngebäude und der Umgebung schwingungsentkoppelt, um Störungen für die sensiblen Fertigungsprozesse zu vermeiden.