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Neubau eines Produktionsreinraumes

SUSS MicroOptics SA

Die Aufgabe bestand in der Errichtung eines Reinraumes innerhalb einer Fabrikationshalle, in der sich verschiedene Firmen befinden. Im EG befindet sich der Produktionsbereich für mikrooptische Bauteile. Im Reinraumbereich "Litho" wurden Nassbänke für den Herstellungsprozess aufgestellt. Im UG wurde eine Technikzentrale errichtet.

Herausragende Merkmale

Die Regelung der Lüftungsanlage sowie die Steuerung der FFUs erfolgt über das ROM eigene MSR System.

Beschreibung

Durch Reinraumwände und -decken wird der Reinraumbereich von der Umgebung abgegrenzt. Imtech übernahm hier die Planung sowie die Bauüberwachung. Die Außenluft wird über ein Zuluftgerät aufbereitet und konditioniert. Abluft wird zu 100 % über eine Prozessfortluftanlage realisiert. Über ein hocheffizientes Kreislaufverbund-WRG-System wird eine Rückwärmzahl von bis zu 75 % erreicht. In den Räumen selbst sorgen Filter-Fan-Units für die notwendige Luftumwälzung und Reinigung der Luft. Die Bereiche der Klasse ISO 5 wurden auf einem Doppelboden installiert. Der Zugang erfolgt hier über eine Imtech Rotationsschleuse ROMTEC CRA. Zur Erzeugung des Kaltwassers wurde eine Kältemaschine mit separatem Rückkühler neben dem Gebäude aufgestellt.
Die Medienversorgung besteht aus einer DI-Wassererzeugungsanlage, einer Abwasserneutralisationsanlage sowie einer Vakuumanlage. Die ebenfalls errichtete Stickstoffversorgung wurde an einen bauseitigen Stickstofftank angeschlossen.

Dienstleistungen ROM Technik

Technische Daten

Zuluftvolumenstrom 20.000 m³/h
Umluftvolumenstrom 20.000 m³/h
Kühlleistung 550 kW
FFU Fabrikat ROM 103 St.
Reinraumschleuse Fabrikat ROMTEC CRA


Beginn: 2012

Fertigstellung: 2013

Objektdaten

Reinraumfläche 500 m²
Reinheitsklassen 5 - 7 nach DIN EN ISO 14644



SUSS MicroOptics SA
Rouges-Terres 61
CH-2068 Hauterive
Standort:
Neuchatel (CH)